地方标准《热喷涂旋转硅靶材通用技术条件》由福建省工业和信息化厅归口上报，主管部门为福建省市场监督管理局。

主要起草单位 福建阿石创新材料股份有限公司 、福建省产品质量检验研究院 、福建省测试技术研究所 、福州允能光电有限公司 、福州荣德光电有限公司 。

主要起草人 张科 、任小英 、陈钦忠 、郑建文 、林志河 、汪家兵 、陈丹红 。

备案号：70339-2020。

备案公告： 2020年第3号 。

本标准规定了热喷涂旋转硅靶材的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于以高纯硅粉为原料，添加微量物质后，采用等离子喷涂工艺，将硅粉喷涂于不锈钢衬管上的热喷涂旋转硅靶材。