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晶圆表面颗粒度检查仪校准方法

地方标准-河北 推荐性 现行

地方标准《晶圆表面颗粒度检查仪校准方法》，主管部门为河北省市场监督管理局。

目录

标准状态

  1. 发布
  2. 实施
  3. 废止

基础信息

标准号
DB13/T 5865-2023
发布日期
2023-10-25
实施日期
2023-11-25
中国标准分类号
A 50
国际标准分类号
17.040.20
17 计量学和测量、物理现象
17.040 长度和角度测量
17.040.20 表面特征
主管部门
河北省市场监督管理局
行业分类
科学研究和技术服务业

备案信息

备案号：105126-2023。

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