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负责专业范围为半导体材料制备及材料物理。

擅长专业为从事三代半导体材料硅、砷化镓、碳化硅的材料制备及应用研究工作近三十多年,对不同材料晶片加工的化学机械机理分析及亚表面损伤层形成及去除有较深的认识和理解,在国内刊物及会议上发表近三十多篇文章。 从事砷化镓、碳化硅产业化生产、品质控制、标准化生产近十多年,在国内知名企业组织完成了砷化镓、碳化硅的产业化生产,在生产组织管理、品质控制及工艺提升积累较好基础,作出一定的贡献。 从事半导体材料标准化工作近二十多年,起草过砷化镓、碳化硅等材料的国家标准、企业标准、课题军品标准等多项,参与多次半导体标委会组织的专家评审会,对起草标准、建立检测方法等有较强基础及独立工作能力,两次获全国半导体材料分标委的表彰。。