国家标准计划《太阳能电池用硅片厚度及总厚度变化测试方法》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司 、有研半导体材料股份有限公司 、乐山新天源太阳能科技有限公司 、青洋电子材料有限公司 。

主要起草人 何紫军 、冯地直 、程宇 、黎阳 、陈琳 、荆旭华 、刘卓 。