国家标准计划《镍铂靶材合金化学分析方法 第2部分：镁、铝、钛、钒、铬、锰、铁、钴、铜、锌、锆、银、钯、锡、钐、铅、硅含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 》由 TC243（全国有色金属标准化技术委员会）归口，TC243SC5（全国有色金属标准化技术委员会贵金属分会）执行 ，主管部门为中国有色金属工业协会。

主要起草单位 贵研铂业股份有限公司 。

半导体用溅射镍铂靶材对质量要求非常高,尤其是对化学纯度的控制,原因是杂质的存在将严重影响靶材及相应薄膜的质量,引起溅射时异常放电等现象。

目前国内外镍铂合金靶材在纯度方面的差距显著，国内所生产的镍铂合金靶材能达到4N级，而日本相关靶材厂家制备的镍铂靶可以达到5N级以上。

因此杂质元素分析结果的准确和分析方法的标准化是确保产品质量的必要条件之一，也是判定产品等级的重要指标，制订相关标准分析方法是非常有必要的。

主要技术内容：测定杂质元素为：Mg、Al、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Cu、Zn、Zr、Ag、Pd、Sn、Pb、Si。 方法相对允许差0.00001%～0.0001%为：50%；0.0001%～0.001%为：30%；0.001%～0.005%为：20%；0.005%～0.01%为：15%。 适用范围：镍铂靶材合金中NiPt3、NiPt5、 NiPt10、 NiPt15 、NiPt30 、NiPt60。 测定范围：Ti、Zn、Ag、Sn、Sm为0.00001%～0.01%；Al、Mn、V、Pb、Cr、Pd为0.00005%～0.01%；Mg、Co、Cu、Fe、Zr为0.0001%～0.01%；Si为0.0005%～0.01%。