国家标准计划《镍铂靶材合金化学分析方法 第1部分:铂含量的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法 》由 TC243（全国有色金属标准化技术委员会）归口，TC243SC5（全国有色金属标准化技术委员会贵金属分会）执行 ，主管部门为中国有色金属工业协会。

主要起草单位 贵研铂业股份有限公司 。

半导体用溅射镍铂靶材对质量要求非常高,其中Ni表现为铁磁性，Pt表现为顺磁性，Ni含量高磁性弱，随Pt含量的增加NiPt合金磁性减弱，但Pt含量的增加能够提高薄膜的高温稳定性，并且改善界面形貌，减少侵占缺陷。

在新的技术节点是有可能依次采用不同Pt含量的镍铂合金溅射靶材来制备有梯度结构的镍铂硅化物接触薄膜。

因此Pt分析结果的准确和分析方法的标准化是确保产品质量的必要条件之一，也是保证公平交易的重要条件，制订相关标准分析方法是非常有必要的。

技术内容：1、采用Y内标控制，ICP-AES法测定。 2、Pt质量分数% 允许差% 1.00～5.0 0 0.10 >5.00～10.00 0.20 >10.00～15.00 0.30 适用范围：镍铂靶材合金中NiPt3、NiPt5、 NiPt10、 NiPt15 测定范围： Pt 1.00%～15.00%