国家标准项目《蓝宝石单晶用高纯氧化铝》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准委。
主要起草单位 山东恒晶新材料有限公司 、天通银厦新材料有限公司 、四川鑫通新材料有限责任公司 、苏州恒嘉晶体材料有限公司 。
| 29 电气工程 |
| 29.045 半导体材料 |
本标准规定了蓝宝石单晶用高纯氧化铝的技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容等。 本次主要修订内容如下: 1、更改标准名称及适用范围。原标准《蓝宝石衬底用高纯氧化铝》限定了蓝宝石的适用范围,而蓝宝石晶体除衬底外还可以用作窗口材料、集成电路基板等。本次修订,扩大标准的适用范围为“本文件适用于蓝宝石单晶用高纯氧化铝”,标准名称也由《蓝宝石衬底用高纯氧化铝》修改为《蓝宝石单晶用高纯氧化铝》。 2、删除原标准中“4.1产品分类 高纯氧化铝按真密度一般可分为4类,如表1所示。”增加高纯氧化铝堆积密度或体积密度的要求。 真密度指材料在绝对密实状态下的体积内固体物质的实际体积,不包括内部孔隙或者颗粒间的空隙。高纯氧化铝材料的真密度是3.9-4.0g/cm3,并不会随物料状态不同而变化。而对蓝宝石晶体用高纯氧化铝来说,对真密度并没有要求,但高纯氧化铝的堆积、体积密度对蓝宝石长晶影响巨大,因为蓝宝石长晶用的坩埚尺寸是一定的,原材料堆积密度的大小直接决定了同体积的坩埚可以产出晶体的大小,故原标准4.1产品分类对真密度的概念理解存在错误。建议根据不同类型的高纯氧化铝增加对应的堆积密度或体积密度的要求。 3、更改了化学成分的要求。原标准中“4.2化学成分”要求的杂质元素种类较少,而非金属元素对蓝宝石单晶的质量影响较大,直接影响到晶体的透明度,并产生色差。原标准中的化学成分要求已不能满足现阶段的实际需求,需要增加Mn、Ga、K、Zr、Cu、P、B、V、S元素的要求。同时,已有更高纯度的高纯氧化铝用于生产蓝宝石单晶,所以增加产品的纯度分级。 4、更改原标准中外观及形态要求。原标准中“高纯氧化铝的外观可分为块状、饼状、颗粒状等,形态特征可为透明或半透明晶体、多晶体、陶瓷体等,具体要求可由供需双方在合同中约定”无明确检验方法,无法判定。建议修改为“高纯氧化铝的外观形状为块料、饼料或颗粒料,外观颜色为白色、透明或半透明,无色差及可见异物。”并更改了对应的检验方法。 5、由于氧化铝多晶体的不同部位纯度是不一样的,原标准6.4.1生产取样中“供方可在生产过程中选取有代表性样品”改为“在双方约定的具有代表性的部位取样”。 6、增加了7.1标志中包装箱上的标注内容(公司名称、ROhs2.0标签、订单号、小心轻放、向上)。 7、增加了外包装的内容。 8、增加了7.5质量证明书的部分内容(检验人签字、产品规格及重量、检验合格章)。