国家标准计划《微束分析-分析电子显微术-金属薄试样中位错密度的测定方法》由 TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 首钢集团有限公司 、国标（北京）检验认证有限公司 。

位错是变形、疲劳、裂纹扩展等宏观现象的物理本质，位错的量用位错密度来表示。

位错密度影响材料的强度、韧性等性能以及相变、回复、再结晶等行为。

材料局部的应力集中也是位错密度陡然升高的结果。

因此位错密度的定量评价是金属结构材料研究的基础性课题。

位错密度测量的准确程度关系到后续材料质量、性能的评价，因此有必要对该方法进行规范，并制定相关的国家标准。

本文件规定了利用透射电子显微镜测量金属中位错密度。本文件适用于不高于1？10+15m-2的位错密度的测量。本文件适用于50nm至几百个nm厚度薄晶体中位错密度的测量。 主要技术内容包括：位错形貌的获取、位错量的统计、测量位置薄晶体膜厚的测量以及位错密度的计算。