国家标准计划《表面化学分析 二次离子质谱 静态二次离子质谱相对强度标的重复性和一致性》由 TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 北京师范大学（分析测试中心） 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 23830:2008。

采标中文名称:表面化学分析 二次离子质谱 静态二次离子质谱相对强度标的重复性和一致性。

静态二次离子质谱（SIMS）常用于鉴定材料表面和组分定量，分析灵敏度很高，表面化学分析中广为采用。

目前我国拥有不少性能优良、具有世界先进水平的SIMS仪器，多用于定性分析，国内外已有了一些这方面的标准。

但在定量分析方面关注质谱峰强度信息的标准仍是空白。

为此制定本标准，提供评估仪器设备的相对强度标的重复性和一致性方法，提供优化操作程序和设置参数依据。

制定应用本标准可以更准确地解释SIMS谱峰强度的信息，为定量分析奠定基础，增强SIMS数据的适用性与国际接轨；亦可充分发挥SIMS仪器潜能，使其高水平地服务于表面科学技术中的检测、科研、生产等。

因此，迫切需要制定此类SIMS方法标准。

本标准规定了评估静态SIMS相对强度标的具体方法，采用对聚四氟乙烯重复测量，统计分析碳氟碎片质量谱峰结果，从而评估相对强度标的重复性和一致性。本标准只作评估，并不涉及提高重复性和一致性的具体措施和方法不在本标准的内容。针对实际应用中的磁扇型质谱、四极质谱、飞行时间质谱主要仪器给出了不同的操作使用方法。