国家标准计划《表面化学分析 扫描探针显微术 用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜（ESPM，如SSRM和SCM）空间分辨的定义和校准》由 TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中山大学 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 13083:2015。

采标中文名称:表面化学分析 扫描探针显微术 用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜（ESPM，如SSRM和SCM）空间分辨的定义和校准。

电扫描探针显微镜是扫描探针显微镜家族的一员，由于具有纳米级的空间分辨率和电学成像能力，电扫描显微镜在半导体行业、纳米材料研究、薄膜材料研究等领域被广泛使用。

目前我国还没有电扫描显微镜空间分辨率的标准测量方法，因此确定电扫描显微镜的空间分辨率定义以及校准标准具有重大意义。

适用范围包括商用电扫描探针显微镜，包括静电力显微镜、扫描电容显微镜、扫描扩散电阻显微镜等； 主要技术内容包括空间分辨率的定义，锐边法测量横向分辨率的步骤，包括选择参考样品、参数设置、数据采集、数据分析等。