国家标准计划《表面化学分析 扫描探针显微术 采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系统校准》由 TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 中国计量科学研究院 、上海市计量测试技术研究院 、西安交通大学 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 11952-2019。

采标中文名称:表面化学分析 扫描探针显微术 采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系统校准。

范围：本标准规定了扫描探针显微镜的校准相关的技术规范，适用于定量纳米尺寸测量的扫描探针显微镜。 技术内容：扫描探针显微镜校准的术语，仪器特征，校准程序以及不确定度评价。