国家标准计划《表面化学分析 扫描探针显微术 采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系统校准》由 TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口，TC38SC2（全国微束分析标准化技术委员会表面化学分析分会）执行 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国计量科学研究院 、上海市计量测试技术研究院 、西安交通大学 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 11952-2019。

采标中文名称:表面化学分析 扫描探针显微术 采用扫描探针显微镜测定几何量：测量系统校准。

本标准立项的目的是通过规范扫描探针显微镜在对几何参数测量时的溯源与校准方法，实现纳米尺度量值准确与等效一致。

随着纳米技术发展，扫描探针显微镜作为一种定量的尺寸测量工具在微纳制造领域具有应用。

该标准的制定将对扫描探针显微镜定量测量提供校准技术保障，从而满足微纳加工、集成电路制造等领域制造过程中质量控制对准确的几何量测量的需求。

范围：本标准规定了扫描探针显微镜的校准相关的技术规范，适用于定量纳米尺寸测量的扫描探针显微镜。 技术内容：扫描探针显微镜校准的术语，仪器特征，校准程序以及不确定度评价。