国家标准项目《纳米技术 微区表面及亚表面光学暗场共焦显微表征方法》由 TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 哈尔滨工业大学 、中国计量科学研究院 。

本部标准规定了使用光学暗场共焦显微镜测量表面及亚表面结构的非接触式仪器的计量特征。正文主要技术内容包括：光学暗场共焦显微镜涉及的通用术语和定义、与横向扫描系统相关的术语和定义、与探测系统相关的术语与定义、仪器的计量特征和计量特征概述。在资料性附录部分给出了光学暗场共焦显微镜的基本原理和GPS矩阵。