国家标准计划《纳米几何量标准样板测试方法》由 TC132（全国量具量仪标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国机械工业联合会。

主要起草单位 中国电子科技集团公司第十三研究所 、成都工具研究所有限公司 、中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 、上海计量测试技术研究院 、同济大学 、天津大学 、中国计量科学研究院 、国家量具质量监督检验中心 、中国测试技术研究院 。

目前，半导体器件特征尺寸已进入7nm阶段，用于生产监控的纳米测量仪器包括线宽测量仪、扫描电子显微镜、台阶仪、椭偏仪等，此类仪器是通过几何量标准样板进行校准的，因此，校准纳米测量仪器的计量器具也进入到纳米尺度，包括纳米线间隔、纳米线宽、纳米台阶高度以及纳米膜厚标准样板。

由于国际上尚没有统一的纳米几何量标准样板测试标准，导致生产线上的测试数据不统一，给设计生产带来许多不利影响，因此，必须针对生产中存在的具体问题开展调研工作，统一纳米几何量标准样板的测试参数，确定纳米几何量标准样板的测试方法，最终形成纳米几何量标准样板测试方法的国家标准。

该标准建立后可以促进我国纳米技术健康、有序的发展，推动纳米制造业和精密加工等产业的稳步发展，这对我国纳米相关产业的发展具有极其重要的意义。

本标准规定了纳米几何量标准样板的术语和定义、测试方法分类及原理、测试环境、测试程序及测试数据处理。 本标准适用于周期为（50~100）nm的纳米线间隔标准样板、线宽为（25~100）nm的纳米线宽标准样板、台阶高度为（10~100）nm的纳米台阶高度标准样板和薄膜厚度为（2~100）nm的纳米膜厚标准样板的测试。