国家标准计划《纳米几何量标准样板测试方法》由 TC132（全国量具量仪标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国机械工业联合会。

主要起草单位 中国电子科技集团公司第十三研究所 、成都工具研究所有限公司 、中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所 、上海计量测试技术研究院 、同济大学 、天津大学 、中国计量科学研究院 、国家量具质量监督检验中心 、中国测试技术研究院 。

本标准规定了纳米几何量标准样板的术语和定义、测试方法分类及原理、测试环境、测试程序及测试数据处理。 本标准适用于周期为（50~100）nm的纳米线间隔标准样板、线宽为（25~100）nm的纳米线宽标准样板、台阶高度为（10~100）nm的纳米台阶高度标准样板和薄膜厚度为（2~100）nm的纳米膜厚标准样板的测试。