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国家标准计划《碳基薄膜 分类及命名》由 TC57(全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会)归口 ,主管部门为中国机械工业联合会

主要起草单位 中国科学院宁波材料技术与工程研究所武汉材料保护研究所有限公司

目录

基础信息

计划号
20213039-T-604
制修订
制定
项目周期
12个月
下达日期
2021-08-24
公示开始日期
2021-01-15
公示截止日期
2021-01-29
标准类别
基础
国际标准分类号
25.220.99
25 机械制造
25.220 表面处理和镀涂
25.220.99 其他处理和镀涂
归口单位
全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会
执行单位
全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会
主管部门
中国机械工业联合会

起草单位

采标情况

本标准等同采用ISO国际标准:ISO 20523:2017。

采标中文名称:Carbon based films—Classification and designations。

范围和主要技术内容

范围:本文件规定了碳基薄膜的分类,命名及简称。该薄膜以碳为主要成分,并由物理气相沉积(PVD)或化学气相沉积(CVD)制备。包括非晶碳薄膜,亦可称为类金刚石薄膜(DLC), CVD金刚石薄膜,石墨薄膜和类聚合物薄膜。 主要技术内容: 1. 主要碳膜类型:类聚合物碳薄膜、非晶碳薄膜、晶态碳薄膜; 2. 分类依据:结晶度、C-C中的sp2与sp3的比例、H含量、其它元素的含量; 3. 薄膜结构:单层膜、多层膜、梯度薄膜。