国家标准计划《碳基薄膜 分类及命名》由 TC57(全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会)归口 ,主管部门为中国机械工业联合会。
主要起草单位 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 、武汉材料保护研究所有限公司 。
25 机械制造 |
25.220 表面处理和镀涂 |
25.220.99 其他处理和镀涂 |
本标准等同采用ISO国际标准:ISO 20523:2017。
采标中文名称:Carbon based films—Classification and designations。
碳基薄膜是一类由碳元素为主组成的薄膜材料,具有高硬、耐磨、润滑等优异的机械特性,以及光电、导热等特殊功能特性,在航空航天、海洋、民用等领域具有广泛的应用前景。
近年来,针对碳基薄膜的基础及应用研究呈不断增长的趋势,碳基薄膜的产业化应用技术也日趋成熟。
然而,碳基薄膜的制备方法多样,结构复杂,表征方法存在显著差异,这就导致不同制备技术以及工艺所获得的薄膜,难以实现统一的结构、组分的评价,进而影响了薄膜性能的评估,并在很大程度上限制碳基薄膜的工业大规模可控制备以及应用推广。
因此急需制定统一标准实现碳基薄膜在科学界与产业界的对接,这对于推动碳基薄膜的发展及应用具有重要意义。
范围:本文件规定了碳基薄膜的分类,命名及简称。该薄膜以碳为主要成分,并由物理气相沉积(PVD)或化学气相沉积(CVD)制备。包括非晶碳薄膜,亦可称为类金刚石薄膜(DLC), CVD金刚石薄膜,石墨薄膜和类聚合物薄膜。 主要技术内容: 1. 主要碳膜类型:类聚合物碳薄膜、非晶碳薄膜、晶态碳薄膜; 2. 分类依据:结晶度、C-C中的sp2与sp3的比例、H含量、其它元素的含量; 3. 薄膜结构:单层膜、多层膜、梯度薄膜。