国家标准计划《碳基薄膜 分类及命名》由 TC57（全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国机械工业联合会。

主要起草单位 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 、武汉材料保护研究所有限公司 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 20523:2017。

采标中文名称:Carbon based films—Classification and designations。

碳基薄膜是一类由碳元素为主组成的薄膜材料，具有高硬、耐磨、润滑等优异的机械特性，以及光电、导热等特殊功能特性，在航空航天、海洋、民用等领域具有广泛的应用前景。

近年来，针对碳基薄膜的基础及应用研究呈不断增长的趋势，碳基薄膜的产业化应用技术也日趋成熟。

然而，碳基薄膜的制备方法多样，结构复杂，表征方法存在显著差异，这就导致不同制备技术以及工艺所获得的薄膜，难以实现统一的结构、组分的评价，进而影响了薄膜性能的评估，并在很大程度上限制碳基薄膜的工业大规模可控制备以及应用推广。

因此急需制定统一标准实现碳基薄膜在科学界与产业界的对接，这对于推动碳基薄膜的发展及应用具有重要意义。

范围：本文件规定了碳基薄膜的分类，命名及简称。该薄膜以碳为主要成分，并由物理气相沉积(PVD)或化学气相沉积(CVD)制备。包括非晶碳薄膜，亦可称为类金刚石薄膜(DLC)， CVD金刚石薄膜，石墨薄膜和类聚合物薄膜。 主要技术内容： 1. 主要碳膜类型：类聚合物碳薄膜、非晶碳薄膜、晶态碳薄膜； 2. 分类依据：结晶度、C-C中的sp2与sp3的比例、H含量、其它元素的含量； 3. 薄膜结构：单层膜、多层膜、梯度薄膜。