国家标准计划《洁净室及相关受控环境 第14部分:按评估粒子污染浓度评估设备适用性》由 TC319(全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。
主要起草单位 苏州安泰空气技术有限公司 、中国标准化协会等 。
13 环保、保健和安全 |
13.040 空气质量 |
13.040.35 清洁室(无菌室)及相关受控环境 |
本标准等同采用其他国际标准:ISO 14644-14:2016。
采标中文名称:洁净室及相关受控环境 第14部分:按评估粒子污染浓度评估设备适用性。
洁净室及相关受控环境的设计、建造、检测、应用是系统性工程,对每个环节严格要求,是防范系统风险的必须。
洁净室及相关受控环境中使用的机械、测试、工艺、部件及工具等设备释放的悬浮粒子,是洁净室及相关受控环境的部分“污染源”,且与作业表面距离很近,甚至是0距离。
评估的粒子直径从0.1μm到5μm。
科学合理的评估机械、测试、工艺、部件及工具等设备释放的悬浮粒子非常重要,特别是小粒径粒子的测试对仪器设备、检测技术能力都是考验。
国际同仁已经先于我们开展的相关工作,制定了国际标准ISO 14644-14:2016《洁净室及相关受控环境 第14部分:按评估粒子污染浓度评估设备适用性》等同采用该国际标准,可以借鉴国际经验,对提高我国洁净室及相关受控环境的应用水平极为重要。
标准的主要技术内容是悬浮颗粒物浓度测量、适宜性评估等。