国家标准计划《洁净室及相关受控环境 第14部分：按评估粒子污染浓度评估设备适用性》由 TC319（全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 苏州安泰空气技术有限公司 、中国标准化协会等 。

本标准等同采用其他国际标准：ISO 14644-14:2016。

采标中文名称:洁净室及相关受控环境 第14部分：按评估粒子污染浓度评估设备适用性。

洁净室及相关受控环境的设计、建造、检测、应用是系统性工程，对每个环节严格要求，是防范系统风险的必须。

洁净室及相关受控环境中使用的机械、测试、工艺、部件及工具等设备释放的悬浮粒子，是洁净室及相关受控环境的部分“污染源”，且与作业表面距离很近，甚至是0距离。

评估的粒子直径从0.1μm到5μm。

科学合理的评估机械、测试、工艺、部件及工具等设备释放的悬浮粒子非常重要，特别是小粒径粒子的测试对仪器设备、检测技术能力都是考验。

国际同仁已经先于我们开展的相关工作，制定了国际标准ISO 14644-14:2016《洁净室及相关受控环境 第14部分：按评估粒子污染浓度评估设备适用性》等同采用该国际标准，可以借鉴国际经验，对提高我国洁净室及相关受控环境的应用水平极为重要。

标准的主要技术内容是悬浮颗粒物浓度测量、适宜性评估等。