国家标准计划《洁净室及相关受控环境 第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁》由 TC319（全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 深圳市丽风净化工程有限公司 、中国标准化协会等 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 14644-13:2017。

采标中文名称:洁净室及相关受控环境 第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁。

该标准基于洁净室的清洁原理、提出针对粒子和化学污染物的清洁方法、工序、效率、清洁材料、适宜性等要求。