国家标准计划《洁净室及相关受控环境 第13部分:达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁》由 TC319(全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准委。
主要起草单位 深圳市丽风净化工程有限公司 、中国标准化协会等 。
13 环保、保健和安全 |
13.040 空气质量 |
13.040.35 清洁室(无菌室)及相关受控环境 |
本标准等同采用ISO国际标准:ISO 14644-13:2017。
采标中文名称:洁净室及相关受控环境 第13部分:达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁。
洁净室及相关受控环境的设计、建造、检测、应用是系统性工程,对每个环节严格要求,是防范系统风险的必须。
洁净室及相关受控环境中的工作表面是其应用核心区域,该区域的清洁极为特殊和重要,是保证洁净室及相关受控环境应用的重要环节。
洁净室及相关受控环境清洁涉及方法、目标、工序、效率、材料等诸多因素。
适宜的清洁方法,可以较低的功效成本,可靠的保证相关作业需求,从而从清洁方面提高洁净室及相关受控环境的应用水平。
国际同仁已经先于我们开展的相关工作,国际标准ISO14644-13:2017《洁净室及相关受控环境 第13部分:达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁》提出了针对粒子和化学污染物的清洁方法,等同采用该国际标准,可以借鉴国际同行的经验,对提高我国洁净室及相关受控环境的应用水平极为重要。
该标准基于洁净室的清洁原理、提出针对粒子和化学污染物的清洁方法、工序、效率、清洁材料、适宜性等要求。