国家标准计划《微束分析 电子探针 （EPMA） 分析质量保证程序实施导则》由 TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 中国科学院地质与地球物理研究所 、核工业北京地质研究院 、中国地质科学院矿产资源研究所 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 19463:2018。

采标中文名称:微束分析 电子探针 (EPMA)性能检定方法导则。

电子探针分析仪属大型精密仪器，广泛应用于材料、地质、冶金、半导体、乃至生物等诸多学科领域。

目前国内每年引进的该类设备约20台套，在用设备数以百计，分布于科研院所、大学、工厂等各单位，近期甚至见于私营实验室。

如何进行仪器的日常性能检查、进行质量控制以获得正确的科学数据是电子探针实验室面临的重要问题。

本标准的制定将为国内电子探针分析仪的使用提供规范的性能检查和质量控制方法。

本标准为电子探针（EPMA）进行日常仪器检查和质量保障提供方法指南。仪器操作者依此定期完成检查流程，以确保仪器在最佳状态运行。它涵盖了独立测试和全面评估电子探针系统主要组件性能所需的分析流程、所需参考物质的特性要求。内容包括：术语、电子探针性能检查的一般原则和方法、检查报告内容、数据分析与解读等。