国家标准计划《微束分析 电子探针显微分析（EPMA） 术语》由 TC38（全国微束分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中国科学院上海硅酸盐研究所 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 23833 2013 Second edition。

采标中文名称:微束分析 电子探针显微分析（EPMA） 术语。

电子探针显微分析（EPMA）是微束分析技术中一个应用极为广泛的领域，是在高技术产业、基础工业、农业、冶金、地质、生物、医药卫生、环境保护、商检贸易乃至刑事法庭等行业中需要通过各种材料或产品的微米尺度成份和结构分析来进行质量管理和质量检验所不可缺少的技术手段。

该领域的标准化文件都与本术语有关，术语标准化是相关领域标准化发展的先决条件之一。

因为EPMA和EDS分析的物理基础、分析的基本原理、成分分析的修正公式等都相同，所以EPMA术语标准中的绝大部分术语也适合于能谱仪（EDS）显微分析。

EDS分析技术是近20来发展迅速的分析技术之一，据不完全统计，国内EDS已经超过4000台，近年来，每年增加300？400台， EPMA术语也在EDS分析中得到了广泛应用。

第一版EPMA术语2008年发布以来，对EPMA、EDS显微分析相关术语的规范起到重要作用。

为了增加新技术发展提出的新术语和对第一版相关术语进行补充和修改，ISO于2013年发布了EPMA术语修订版（第二版）。

本标准修订是根据第二版进行等同采标。

。

电子探针显微分析（EPMA）是一门综合性的技术，涉及物理、化学、电子学等广泛术语。本标准只限于定义电子探针显微分析（EPMA）、能谱仪（EDS）显微分析标准化实践中使用和直接有关的术语，包括电子探针显微分析用一般术语定义；描述电子探针显微分析仪器的术语定义；用于电子探针显微分析方法的术语定义。 本标准的大部术语也适合于能谱仪显微分析。能谱仪分析技术是近20年发展最快的分析技术之一，已广泛应用于各种固体材料的微区分析。由于EPMA与EDS分析原理、分析的物理基础及成分定性定量分析的计算公式等都完全相同，所以EPMA术语在EDS分析领域也得到了广泛应用。