国家标准计划《真空技术 真空泵性能测量标准方法 低温泵》由 TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国机械工业联合会。

主要起草单位 北京卫星环境工程研究所 。

低温泵被广泛应用于真空镀膜、电子半导体、高能物理、航空航天等行业领域，用于提供洁净高真空环境。

因其使用方便，冷源小巧，被更广泛使用。

国内低温泵研制及测试技术起步较晚，各行业用中小口径低温泵产品几乎被进口产品所垄断，而大口径低温泵对我国实施禁运。

我国近年因大口径低温泵研制技术被国外封锁，国内科技快速发展对各种低温泵需求激增，才逐步有国产产品问市，并逐步应用在国内大型空间环模设备等领域。

2011年发布实施的JB/T 11081-2011《真空技术 制冷机低温泵》，在一定程度上在低温泵的生产制造、检验检测等方面提供了依据和参照，但缺少对抽速、极限真空、渡越容量、抽气种类和抽气量等指标的具体测试要求和技术规定，且经过几年间的发展，其技术水平亦无法满足现有的技术要求。

鉴于国内低温泵的发展水平，2009年，中国向ISO/TC 112提出了低温泵的新工作项目提案，初步答辩已通过，目前列为PWI项目，待中国消化吸收了答辩反馈意见，编制好草案文本后，即着手申请立项。

本标准将完善低温泵性能指标的测试过程和不确定度评定的相关内容，涉及测试方法、测试系统、测试要求等方面，以规范低温泵性能测试实施操作，确保测试流程的一致性和准确性，可使我国低温泵的自主研制及其性能参数测试工作更加科学、规范。

同时，在制定过程中将广泛吸纳国内低温泵制造商、使用方、检验检测机构等方方面面的意见和建议，制定出一项符合国内外技术水平的低温泵标准，为ISO/TC 112低温泵标准制定工作的推进奠定基础。

从而有利于提升我国自主研制各口径低温泵的技术能力，实现该产品自主可控的国产化需求，更好的服务于国民经济和国防建设。

。

本标准规定了低温泵性能参数的测试方法实施的适用范围、术语定义、测试准备、测试方法（含抽气速率的测量、抽气容量的测量、渡越容量的测试、最低工作压力的测试、最大抽气能力的测量、降温时间的测试等）及测试程序、测量不确定度、测试报告等相关内容。