国家标准计划《表面化学分析 X射线光电子能谱 X射线光电子能谱仪日常性能的评估方法》由 TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 厦门荷清教育咨询有限公司 、清华大学化学系 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 16129:2018。

采标中文名称:表面化学分析 X射线光电子能谱 X射线光电子能谱仪日常性能的评估方法。

XPS是大型精密复杂表面分析仪器，不可能总保持完好的性能。

因此，仪器有必要定期和经常性（每天）检查评估仪器运行是否正常及数据是否可信。

本标准的目的就是提供几分钟内可进行检查评估的步骤，监控了解仪器状况，并在数据质量恶化到低于要求的水平之前能够采取措施进行纠正。

这保证仪器正常工作而不会太受干扰。

范围 :本标准适用于已依照ISO标准或制造商的说明书进行校准的XPS 仪器,使用本标准操作者可定期评估该X-射线光电子能谱仪的日常性能以保证仪器的正常运行。 内容 :本标准为操作者设计定期评估一台X-射线光电子能谱仪的几个关键参数。提供可以经常进行的快速测试单元。包括仪器的初始处理、校准、对中和评估；如何选择和使用导电样品和非导电样品进行仪器快速检测;如何选择和使用荧光样品和均匀导电样品进行X射线源快速检测;性能数据的采集与分析。并给出问题现象与对策及控制图等。