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国家标准计划《电子特气 三氯化硼》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报,TC203SC1(全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 大连保税区科利德化工科技开发有限公司西南化工研究设计院有限公司等

目录

基础信息

计划号
20200797-T-469
制修订
修订
项目周期
12个月
下达日期
2020-03-06
申报日期
2019-01-04
公示开始日期
2019-07-30
公示截止日期
2019-08-13
国际标准分类号
71.100.20
71 化工技术
71.100 化工产品
71.100.20 工业气体
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会
主管部门
国家标准化管理委员会

起草单位

目的意义

电子特气—三氯化硼主要用于IC、OLED、LED等半导体技术领域,是一种性能极佳的高纯气体材料。

三氯化硼作为集成电路和电子器件用量大、纯度要求高的基础材料,是国家重点鼓励发展的产品和产业,符合国家中长期科学和技术发展规划纲要(2006-2020年)和“十三五”科学和技术发展规划。

2018年3月,九大部委联合发布的《新材料标准领航行动计划(2018~2020)》中明确提出应建立和完善硅基半导体材料标准体系,建立超高纯特种电子气体等关键材料系列标准,加速集成电路制造产业国产化。

三氯化硼作为特种电子气体的系列产品,该标准的修订符合《新材料标准领航行动计划(2018~2020)》的要求。

随着集成电路技术进步,技术节点达到7纳米,晶圆制造达到12英寸,对高纯三氯化硼的要求越来越高,2010版标准的技术要求中只规定了氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷等5种杂质含量,对金属杂质含量的要求未做具体规定。

根据现在的研究成果发现,三氯化硼产品中还含有微量的碳酰氯、氯化氢和氯气杂质,并且也需要规定具体的金属杂质,这些杂质对下游的使用非常关键。

因此2010版的标准已经无法满足行业发展需求,本次修订后的技术要求加上了碳酰氯、氯化氢、氯气和具体的17种金属杂质含量。

2018年9月,工信部网站发布了关于《重点新材料首批次应用示范指导目录(2018版)》的公告。

该公告中将纯度99.999%的高纯三氯化硼列为重点新材料,本次修订后的三氯化硼纯度高于该公告的规定。

通过对标准的修订,可指导高纯三氯化硼形成规模化生产能力,产品满足IC、OLED、LED对特种电子气体的需求,有利于提高我国高端电子材料自给能力,推动电子相关产业进步,扩大我国高纯电子材料对外影响力,有效服务于国家战略需求。

范围和主要技术内容

本标准规定了超高纯三氯化硼的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、存储等要求。 本标准适用于超高纯三氯化硼产品,主要用于IC、OLED、LED工艺技术。 表1三氯化硼技术指标 序号 检测项目 标准 1 三氯化硼(BCl3) /l0-2 ≥99.9995 2 氧含量(O2)/l0-6 ≤0.5 3 氮含量(N2)/l0-6 ≤0.5 4 甲烷(CH4 )/l0-6 ≤0.5 5 一氧化碳含量(CO )/l0-6 ≤0.3 6 二氧化碳含量(CO )/l0-6 ≤0.2 7 碳酰氯(COCl2)含量/10-6 ≤0.1 8 氯化氢(HCl)含量/10-6 ≤50 9 氯气含量(Cl2),10-6(V/V) ≤1.0 序号 检测项目 标准 1 钙、铬、铜、铅、镁、锰、镍、硅、锌、锂、钡、锑,10-9(m/m) ≤10 2 铝、钾、钠、砷,10-9(m/m) ≤20 3 铁,10-9(m/m) ≤30