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国家标准计划《纳米技术 亚纳米厚度石墨烯薄膜载流子迁移率及方块电阻测量方法》由 TC279(全国纳米技术标准化技术委员会)归口 ,主管部门为中国科学院

主要起草单位 泰州巨纳新能源有限公司中国科学院上海微系统与信息技术研究所泰州石墨烯研究检测平台有限公司东南大学南京大学

目录

基础信息

计划号
20202801-T-491
制修订
制定
项目周期
24个月
下达日期
2020-08-07
申报日期
2017-11-23
公示开始日期
2020-01-07
公示截止日期
2020-01-21
标准类别
方法
国际标准分类号
31.020
31 电子学
31.020 电子元器件综合
归口单位
全国纳米技术标准化技术委员会
执行单位
全国纳米技术标准化技术委员会
主管部门
中国科学院

起草单位

目的意义

本次制订目的在于规范亚纳米厚度石墨烯薄膜载流子迁移率及方块电阻测量方法。

随着亚纳米厚度石墨烯薄膜材料的设计、制造和发展,开发用于评估石墨烯材料电学质量为目的的测量方法显得非常重要,在基于石墨烯材料的电子器件领域具有广泛的应用前景。

石墨烯电学性能不仅受到薄膜材料处理工艺及器件制备工艺的影响,同时电学测试条件与测试方法也会影响材料的测试结果。

该测量标准提供了科学可靠并易于实现的测量方法。

检测结果真实精准,检测过程更容易实现。

该标准的制定将为此领域提供一致和明确的石墨烯薄膜电学性能测量方法。

范围和主要技术内容

范围: 本标准规定了亚纳米厚度石墨烯薄膜的电学特性测量方法适用于二维单层或者少层石墨烯薄膜的电学性能表征,主要包括载流子及薄膜方块电阻的测量。 技术内容: 主要包括以下几方面: 1.石墨烯薄膜的清洁处理,及器件设计、制备及封装要求。 3.测试条件及测试方法,最大限度减少测量误差

国家级科研专项支撑

2017YFF0206106便携式量子电阻标准关键技术研究