国家标准项目《表面化学分析 原子力显微术 用于纳米结构测量的原子力显微镜探针柄轮廓原位表征程序》由 TC608（全国表面化学分析标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 上海交通大学 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 13095:2014。

采标中文名称:表面化学分析 原子力显微术 用于纳米结构测量的原子力显微镜探针柄轮廓原位表征程序。

本标准说明了用于表征AFM探针尖端形状的两种方法，特别是柄和近尖端轮廓。 这些方法通过将AFM探针尖端轮廓投影到给定平面上，并且探针柄的特性在定义的操作条件下也投影到该平面上。后者可以给出探针用于狭窄沟槽及类似结构深度测量时的有效性。本国际标准适用于半径大于5uo的探针，其中uo是用于表征探针特性的标准样品脊形结构宽度的不确定性。

国家重大科学仪器设备开发专项，2014YQ090709，跨尺度微纳米测量仪的开发和应用