国家标准计划《洁净室与相关受控环境 第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度等级》由 TC319（全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中国电子工程设计院等 。

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 14644-8。

采标中文名称:按化学物浓度划分空气洁净度等级。

近年来，国际上对洁净室及相关受控环境化学污染的分析发展很快。

化学污染具有污染物种类多，检测、控制难度大，对产品质量影响大的特点。

随着对洁净室内化学污染的认识水平不断提高，该标准的名称也由空气分子污染分级改为“按化学物浓度划分空气洁净度等级“，名称的改变包含了对其认识的重大突破。

化学污染对航空航天、微机电、光学（镜片）、微电子（纳米级芯片、晶圆片）、激光聚变等都有很大影响。

等同采用该国际标准，与国际同行实现污染物分级、检测的统一，有利于国际交流，有利于学习借鉴国际先进技术和经验，有利于提升我国洁净室及相关受控环境的分析、检测、控制化学污染的水平，有利于提高我国相关技术的质量和水平。

给出了洁净室及相关受控环境化学污染物的分级和检测。