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GB/T 16944-2009  电子工业用气体 氮 废止
  国际标准分类号（ICS） 71.100.20   中国标准分类号（CCS） G86
英文标题
Gas for electronic industry - Nitr ogen
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
 发布于  实施于
GB/T 16944-1997  电子工业用气体 氮 废止
  国际标准分类号（ICS） 71.100.20   中国标准分类号（CCS） G86 采
英文标题
Gases for electronic industry--Nitrogen
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
采标关系
等同  SEMI C3.28:1992(1995)
 发布于  实施于