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食品安全国家标准
生态环境国家标准
工程建设国家标准
国家
标准
GB/T
19921-2018
硅抛光片表面颗粒测试方法
现行
国际标准分类号（ICS）
77.040
中国标准分类号（CCS）
H21
英文标题
Test method for particles on polished silicon wafer surfaces
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
国家
标准
GB/T
19921-2005
硅抛光片表面颗粒测试方法
废止
国际标准分类号（ICS）
77.040.01
中国标准分类号（CCS）
H17
英文标题
Test method of particles on silicon wafer surfaces
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会