负责专业范围为光学工程。

擅长专业为面向下一代光刻极紫外光刻机的极紫外真空技术。

目录

标委会信息

委员会名称
TC18  全国真空技术标准化技术委员会
工作单位
中国科学院微电子研究所
委员会职务
委员
加入时间
2025-08-28

工作关系