吴晓斌
负责专业范围为光学工程。
擅长专业为面向下一代光刻极紫外光刻机的极紫外真空技术。
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标委会信息
委员会名称
TC18 全国真空技术标准化技术委员会
工作单位
中国科学院微电子研究所
委员会职务
委员
加入时间
2025-08-28
工作关系