行业标准《镝、铽金属靶材》,主管部门为工业和信息化部。
备案号: 80939-2021。
备案公告: 2021年第3号 。
本标准适用于真空冶炼法制得的镝、铽金属靶材,主要用于制备钕铁硼磁控溅射镀膜等。