国家标准计划《洁净室及相关受控环境 第10部分:按化学污染评估表面洁净度等级》由TC319(全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准委。
主要起草单位 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 。
本标准等同采用ISO国际标准:ISO 14644-10:2022。
采标中文名称:洁净室及相关受控环境 第10部分:按化学污染评估表面洁净度等级。