国家标准计划《砷化镓基化合物半导体外延片》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报，TC203SC2（全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会）执行，主管部门为国家标准委。

主要起草单位 厦门士兰明镓化合物半导体有限公司 、全磊光电股份有限公司 、京东方华灿光电股份有限公司 、厦门大学 、江苏华兴激光科技有限公司 。