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国家标准计划《集成电路用高纯铜合金靶材》由 TC243(全国有色金属标准化技术委员会)归口,TC243SC2(全国有色金属标准化技术委员会重金属分会)执行 ,主管部门为中国有色金属工业协会。 拟实施日期:发布后10个月正式实施。

主要起草单位 宁波江丰电子材料股份有限公司有研亿金新材料有限公司宁波微泰真空技术有限公司

主要起草人 曹欢欢袁海军姚力军王学泽曾浩边逸军钟伟华周友平贺昕慕二龙高岩江伟龙

目录

项目进度

当前标准计划

20182007-T-610 已发布

集成电路用高纯铜合金靶材

基础信息

计划号
20182007-T-610
制修订
制定
项目周期
24个月
下达日期
2018-10-16
标准类别
产品
中国标准分类号
H62
国际标准分类号
77.150.30
77 冶金
77.150 有色金属产品
77.150.30 铜产品
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会
执行单位
全国有色金属标准化技术委员会重金属分会
主管部门
中国有色金属工业协会

起草单位

起草人

曹欢欢
袁海军
曾浩
边逸军
贺昕
慕二龙
姚力军
王学泽
钟伟华
周友平
高岩
江伟龙

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