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国家标准计划《硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准化管理委员会。 拟实施日期:发布后10个月正式实施。

主要起草单位 有研半导体材料有限公司上海合晶硅材料有限公司有色金属技术经济研究院北京聚睿众邦科技有限公司厦门银固美能源科技有限公司

主要起草人 王永涛孙燕徐新华胡金枝任丹雅赵志婷蔡丽艳杨素心陆敏林兴乐

目录

项目进度

当前标准计划

20173543-T-469 已发布

硅材料中氧含量的测试 惰性气体熔融红外法

基础信息

计划号
20173543-T-469
制修订
制定
项目周期
24个月
下达日期
2018-01-09
标准类别
方法
中国标准分类号
H17
国际标准分类号
77.040
77 冶金
77.040 金属材料试验
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门
国家标准化管理委员会

起草单位

起草人

王永涛
孙燕
任丹雅
赵志婷
陆敏
林兴乐
徐新华
胡金枝
蔡丽艳
杨素心

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