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国家标准计划《确定晶片坐标系规范》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准化管理委员会。 拟实施日期:发布后10个月正式实施。

主要起草单位 有色金属技术经济研究院有研半导体材料有限公司浙江海纳半导体有限公司浙江省硅材料质量检验中心上海合晶硅材料有限公司

主要起草人 卢立延孙燕潘金平杨素心楼春兰胡金枝李素青

目录

项目进度

基础信息

计划号
20162491-T-469
制修订
修订
项目周期
24个月
下达日期
2016-12-28
全部代替标准
GB/T 16596-1996
标准类别
基础
中国标准分类号
H80
国际标准分类号
29.045
29 电气工程
29.045 半导体材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门
国家标准化管理委员会

起草单位

起草人

卢立延
孙燕
楼春兰
胡金枝
潘金平
杨素心
李素青

投票情况

投票日期
2018-11-14~2018-11-19
通过率
98.00%

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