国家标准计划《单基板器械位置操作处理参考位置规范》由 TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。 拟实施日期：发布后6个月正式实施。

主要起草单位 东旭集团有限公司 、中国电子技术标准化研究院 。

主要起草人 曹可慰 、李小娟 。