国家标准计划《光致抗蚀剂灵敏度测量参数规范》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 中国科学院微电子研究所 、中国电子技术标准化研究院 。
20141891-T-469 暂缓