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国家标准计划《碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准化管理委员会

主要起草单位 北京天科合达蓝光半导体有限公司中国科学院物理研究所

主要起草人 陈小龙郑红军张玮郭钰刘振洲

目录

项目进度

基础信息

计划号
20110062-T-469
制修订
制订
项目周期
24个月
下达日期
2011-10-13
标准类别
方法
中国标准分类号
H26
国际标准分类号
77.040.99
77 冶金
77.040 金属材料试验
77.040.99 金属材料的其他试验方法
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

起草单位

起草人

陈小龙
郑红军
刘振洲
张玮
郭钰

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