国家标准计划《蓝宝石单晶晶向测定方法》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准化管理委员会。 拟实施日期:发布后8个月正式实施。
主要起草单位 中国科学院上海光学精密机械研究所 、丹东新东方晶体仪器有限公司 、深圳市中安测标准技术有限公司 、东莞市华源光电科技有限公司 。
主要起草人 杭寅 、甄伟 、尹继刚 、赵松彬 、洪佳琪 、张连翰 、张毅 、刘卫卫 。
20130021-T-469 已发布