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国家标准计划《300mm 硅单晶抛光片》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准化管理委员会

主要起草单位 有研半导体材料股份有限公司中国有色金属工业标准计量质量研究所

主要起草人 闫志瑞孙燕盛方毓卢立延张果虎向磊

目录

项目进度

基础信息

计划号
20080028-T-469
制修订
制订
项目周期
36个月
下达日期
2008-05-29
标准类别
产品
中国标准分类号
H82
国际标准分类号
29.045
29 电气工程
29.045 半导体材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

起草单位

起草人

闫志瑞
孙燕
张果虎
向磊
盛方毓
卢立延

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