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国家标准计划《微机电系统(MEMS)技术 微几何量评定总则》由 TC336(全国微机电技术标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准化管理委员会

主要起草单位 中机生产力促进中心西安交通大学天津大学中原工学院

主要起草人 丁红宇张苹刘伟蒋庄德景蔚萱等

目录

项目进度

基础信息

计划号
20075898-T-469
制修订
制订
项目周期
36个月
下达日期
2007-12-04
标准类别
基础
中国标准分类号
L55
国际标准分类号
31.200
31 电子学
31.200 集成电路、微电子学
归口单位
全国微机电技术标准化技术委员会
执行单位
全国微机电技术标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

起草单位

起草人

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