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国家标准计划《电子特气 二氧化碳》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC1(全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会)执行 ,主管部门为国家标准化管理委员会

主要起草单位 河南心连心深冷能源股份有限公司西南化工研究设计院有限公司等

目录

基础信息

计划号
20214305-T-469
制修订
制订
项目周期
24个月
下达日期
2021-10-13
申报日期
2020-12-27
公示开始日期
2021-05-18
公示截止日期
2021-06-01
标准类别
产品
国际标准分类号
71.100.20
71 化工技术
71.100 化工产品
71.100.20 工业气体
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会
主管部门
国家标准化管理委员会

起草单位

目的意义

电子特气二氧化碳在半导体制造工艺过程中,主要应用于12寸FAB的化学气相沉积,还用于6寸、8寸FAB的清洗,相较于其他的刻蚀气体,二氧化碳物美价廉,且纯度高杂质含量低,在存储器、芯片制造中有着广泛的应用前景和实际价值。

2018年3月,九大部委联合发布的《新材料标准领航行动计划(2018~2020)》中明确提出应建立和完善硅基半导体材料标准体系,建立超高纯特种电子气体等关键材料系列标准,加速集成电路制造产业国产化。

一氧化碳作为特种电子气体的系列产品,该标准的制定符合《新材料标准领航行动计划(2018~~020)》的要求。

通过对标准的制定,旨在对生产和检测提供指导性作用,对下游半导体产业的发展提供质量保障。

有利于提高我国高端电子材料自给能力,推动电子相关产业进步,扩大我国高纯电子材料对外影响力,有效服务于国家战略需求。

范围和主要技术内容

本标准规定了电子级二氧化碳的技术要求、试验方法、检验规则以及包装、标志、储运、安全等要求。 本文件适用于由工业二氧化碳经纯化制备的电子级二氧化碳。 技术要求部分包含对组分和痕量金属杂质的要求,试验方法部分包含了二氧化碳组分的气相色谱测试方法和杂质的电感耦合等离子体质谱测试方法;包装部分详细规定了产品的包装要求。