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国家标准计划《真空技术 真空计 用于分压力测量的四极质谱计特性》由 TC18(全国真空技术标准化技术委员会)归口 ,主管部门为中国机械工业联合会

主要起草单位 北京卫星环境工程研究所

目录

基础信息

计划号
20201425-Z-604
制修订
制订
项目周期
24个月
下达日期
2020-04-01
申报日期
2019-08-23
公示开始日期
2019-11-08
公示截止日期
2019-11-22
标准类别
方法
国际标准分类号
23.160
23 流体系统和通用件
23.160 真空技术
归口单位
全国真空技术标准化技术委员会
执行单位
全国真空技术标准化技术委员会
主管部门
中国机械工业联合会

起草单位

采标情况

本标准等同采用ISO国际标准:ISO/TS 20175:2018。

采标中文名称:真空技术-真空计-用于分压力测量的四极质谱计特性。

目的意义

四极质谱计广泛应用在残余气体分析、物质成分鉴定与定量分析、密封产品的原工质检漏测试等领域,是现在科技发展中,重要的分析仪器。

四极质谱计作为精密的物质成分分析设备,主要采用物质质荷比来判断物质成分,原理复杂,在分析过程中,仪器参数设置的不同,便会对结果产生较大的影响,且测试过程中涉及到的参数众多,作为一种测量仪器,需要对其测量性能进行计量,目前在真空计量界尚未对四极质谱计的计量参数给出明确的规定,致使在使用过程中,用户仅对关心的参数进行校准,不利于测量结果的推广。

通过该项目的研究,确定四极质谱计的主要特征参数,以及这些特征参数的计量方法,并对四极质谱计测量结果的不确定度评定给予了规定,为四极质谱计在气体分析领域的应用打开大门,方便了不同工业部门之间的交流,解决了四极质谱计的计量特性评定问题。

范围和主要技术内容

本文件规定了四极质谱计的计量特性,对质谱计计量特性产生影响的参数,特征参数的表述方法,主要特征参数的设置和校准方法,以及特征参数不确定度的评定方法等。四极质谱计在真空系统的长时间泄漏监测、采用示漏气体的漏率测量、残余气体分析、材料出气率测试中的应用等。