国家标准计划《贵金属复合材料覆层厚度的扫描电镜测定方法》由 TC243(全国有色金属标准化技术委员会)归口 ,主管部门为中国有色金属工业协会。
主要起草单位 贵研铂业股份有限公司 。
77 冶金 |
77.120 有色金属 |
77.120.99 其他有色金属及其合金 |
复合化是贵金属材料的发展趋势。
通过复合技术制备的各种贵金属复合材料不仅性能更加优良而且极大的减少了贵金属的使用量,有效的降低了材料成本。
近年来随着成本控制的不断深入和复合技术的不断进步,贵金属复合材料开始呈现器件小型化覆层超薄化的趋势,传统的覆层厚度测定方法受分辨率限制已经不能满足超薄覆层的测定需要。
目前行业内急需一种全新的测试方法来解决贵金属复合材料覆层厚度测定。
而采用分辨率较高的扫描电子显微镜并结合先进的制样技术是解决该问题的最有效途径。
该标准适用于具有单层或多层覆层的各类贵金属复合材料。包括各种通过固相复合、电镀、化学镀等方法制备的贵金属/贵金属,贵金属/廉金属,贵金属/非金属的复合材料。覆层厚度的测量范围为:(0.05~10)μm。该标准的只要技术内容是覆层截面的制备方法,包括金相法(适用于较厚覆层)和聚焦离子束法(适用于超薄覆层)。