注册

国家标准计划《真空技术 四极质谱检漏方法》由 TC18(全国真空技术标准化技术委员会)归口 ,主管部门为中国机械工业联合会

主要起草单位 北京卫星环境工程研究所

目录

基础信息

计划号
20160515-T-604
制修订
制订
项目周期
36个月
下达日期
2016-06-14
申报日期
2015-05-19
公示开始日期
2016-04-14
公示截止日期
2016-04-30
标准类别
方法
国际标准分类号
23.160
23 流体系统和通用件
23.160 真空技术
归口单位
全国真空技术标准化技术委员会
执行单位
全国真空技术标准化技术委员会
主管部门
中国机械工业联合会

起草单位

目的意义

四极质谱检漏方法因具有检漏灵敏度较高、测试结果稳定、示踪气体种类多、使用较为方便等特点,而广泛应用于航天、航空、电子、核电、真空等行业中。

此方法起源于真空行业,但目前被工业界和科研界广为使用,是一种共性的、通用的检漏测试方法。

目前,在应用此方法的过程中,虽主要过程大致相同,但操作过程中的不同细节对测量结果却有着很大的影响,甚至会影响测量结果的准确性。

本标准制定的目的,是规范四极质谱仪在产品密封性能检测过程中的方法选择、操作流程、操作步骤和结果计算等流程,使得不同行业和领域间基于四极质谱检漏结果具有可比性和参照性,进而提高产品密封质量,增加产品的密封可靠性。

范围和主要技术内容

本标准适用于各行业中采用四极质谱检漏方法的元器件、部件、组件、分系统级以及系统级产品。本标准规定了四极质谱检漏方法实施的环境要求、设备要求、人员资格以及几种常用的四极质谱检漏方法的应用对象、系统组成、检漏程序和评估。