国家标准计划《真空技术 四极质谱检漏方法》由 TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国机械工业联合会。

主要起草单位 北京卫星环境工程研究所 。

四极质谱检漏方法因具有检漏灵敏度较高、测试结果稳定、示踪气体种类多、使用较为方便等特点，而广泛应用于航天、航空、电子、核电、真空等行业中。

此方法起源于真空行业，但目前被工业界和科研界广为使用，是一种共性的、通用的检漏测试方法。

目前，在应用此方法的过程中，虽主要过程大致相同，但操作过程中的不同细节对测量结果却有着很大的影响，甚至会影响测量结果的准确性。

本标准制定的目的，是规范四极质谱仪在产品密封性能检测过程中的方法选择、操作流程、操作步骤和结果计算等流程，使得不同行业和领域间基于四极质谱检漏结果具有可比性和参照性，进而提高产品密封质量，增加产品的密封可靠性。

本标准适用于各行业中采用四极质谱检漏方法的元器件、部件、组件、分系统级以及系统级产品。本标准规定了四极质谱检漏方法实施的环境要求、设备要求、人员资格以及几种常用的四极质谱检漏方法的应用对象、系统组成、检漏程序和评估。