国家标准计划《微机电系统（MEMS）技术 可靠性综合环境测试方法》由 TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中机生产力促进中心 。

微机电系统（MEMS）广泛应用于各种设备和仪器上，因其体积小、功耗低、价格便宜、易于大规模制造等特点，已经在多个领域被市场所接受。

但由于MEMS器件的失效机理和失效模式与传统的IC器件不同，完全沿用传统IC器件的可靠性测试方法无法保障MEMS器件的可靠性，有必要制定微机电系统可靠性综合环境测试方法的国家标准、规范，帮助MEMS器件更好的发展。

本标准的目的是要确定给定MEMS器件在给定应用工况中应能够通过的应力测试，对出现失效的样品提供进行失效分析的标准程序，进而判断失效机理和失效模式，最终确定该器件是否满足给定工况下使用的可靠性要求。