国家标准《微机电系统（MEMS）技术 术语》 由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中机生产力促进中心有限公司 、西安知微传感技术有限公司 、苏州大学 、北京大学 、无锡华润上华科技有限公司 、中国科学院空天信息创新研究院 、北京航空航天大学 、上海交通大学 、天津大学 、北京航天控制仪器研究所 、西安现代控制技术研究所 、中国科学院上海微系统与信息技术研究所 、北京晨晶电子有限公司 、天津新智感知科技有限公司 、中国电子科技集团公司第十三研究所 、中国科学院微电子研究所 、广州广电计量检测股份有限公司 、南京高华科技股份有限公司 、杭州左蓝微电子技术有限公司 、广州奥松电子股份有限公司 、华东光电集成器件研究所 、江苏普诺威电子股份有限公司 、明石创新（烟台）微纳传感技术研究院有限公司 。

主要起草人 顾枫 、宋秀敏 、李根梓 、孙立宁 、张大成 、夏长奉 、夏善红 、董全林 、张卫平 、胡晓东 、刘会聪 、邢朝洋 、刘奎 、熊斌 、张永斌 、张威 、崔波 、陈得民 、王玮冰 、明志茂 、李晓波 、SHUMINZHANG 、张宾 、张胜兵 、杨飞 、高峰 。

本标准修改采用IEC国际标准：IEC 62047-1:2016。

采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第1部分：术语和定义。