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国家标准《刻蚀机用硅电极及硅环》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准化管理委员会

主要起草单位 有研半导体硅材料股份公司山东有研半导体材料有限公司新美光(苏州)半导体科技有限公司浙江海纳半导体有限公司

主要起草人 库黎明孙燕闫志瑞张果虎夏秋良潘金平

目录

标准状态

基础信息

标准号
GB/T 41652-2022
发布日期
2022-07-11
实施日期
2023-02-01
标准类别
产品
中国标准分类号
H 82
国际标准分类号
29.045
29 电气工程
29.045 半导体材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

起草单位

起草人

库黎明
孙燕
夏秋良
潘金平
闫志瑞
张果虎

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