国家标准《纳米技术 微区表面及亚表面表征 光学暗场共焦显微法》 由TC279（全国纳米技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国科学院。

主要起草单位 哈尔滨工业大学 、中国计量科学研究院 、昆明物理研究所 、西安应用光学研究所 、北京微电子技术研究所 、航天科工防御技术研究试验中心 。

主要起草人 刘俭 、施玉书 、刘辰光 、张树 、胡旭 、张云龙 、李冬梅 、冯慧 。