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国家标准《硅外延用三氯氢硅》 由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行 ,主管部门为国家标准化管理委员会

主要起草单位 洛阳中硅高科技有限公司有色金属技术经济研究院有限责任公司上海亿钶气体有限公司南京国盛电子有限公司唐山三孚电子材料有限公司上海新昇半导体科技有限公司上海晶盟硅材料有限公司新疆大全新能源股份有限公司陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司武汉新硅科技潜江有限公司宜昌南玻硅材料有限公司中电晶华(天津)半导体材料有限公司昊华气体有限公司新疆新特新能材料检测中心有限公司青海中航硅材料有限公司沁阳国顺硅源光电气体有限公司江西晨光新材料股份有限公司

主要起草人 万烨赵雄严大洲刘见华张园园李素青李建新李飞明冯永平孙任靖张斌顾广安于生海邓远红徐岩李楷东刘文明李明达付梦月邱艳梅边红利史隽涛梁秋鸿

目录

标准状态

即将替代以下标准

GB/T 30652-2014 (全部代替)

硅外延用三氯氢硅
当前标准

GB/T 30652-2023 即将实施

硅外延用三氯氢硅

基础信息

标准号
GB/T 30652-2023
发布日期
2023-08-06
实施日期
2024-03-01
全部代替标准
GB/T 30652-2014
标准类别
产品
中国标准分类号
H83
国际标准分类号
29.045
29 电气工程
29.045 半导体材料
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会
主管部门
国家标准化管理委员会

起草单位

起草人

万烨
赵雄
张园园
李素青
冯永平
孙任靖
于生海
邓远红
刘文明
李明达
边红利
史隽涛
严大洲
刘见华
李建新
李飞明
张斌
顾广安
徐岩
李楷东
付梦月
邱艳梅
梁秋鸿

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