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国家标准计划《蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法》由 TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口 ,主管部门为国家标准化管理委员会

主要起草单位 协鑫光电科技控股有限公司中国科学院上海光机所浙江昀丰新能源科技有限公司

主要起草人 魏明德黄朝晖刘逸枫杭寅徐永亮

目录

项目进度

当前标准计划

20110054-T-469 已发布

蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法

基础信息

计划号
20110054-T-469
制修订
制定
项目周期
24个月
下达日期
2011-10-13
标准类别
方法
中国标准分类号
H21
国际标准分类号
77.040
77 冶金
77.040 金属材料试验
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

起草单位

起草人

魏明德
黄朝晖
徐永亮
刘逸枫
杭寅

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