国家标准计划《真空技术 术语》由 TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口 ，主管部门为中国机械工业联合会。

主要起草单位 东北大学 、台州职业技术学院 。

本标准修改采用ISO国际标准：ISO 3529-1:2019, ISO 3529-2:2020, ISO 3529-3:2014。

采标中文名称:真空技术 术语 第1部分：一般术语，真空技术 术语 第2部分：真空泵和相关术语，真空技术 术语 第3部分：全压和分压真空计。

术语标准作为整个真空行业以及真空技术应用领域科研生产、教学研发等相关活动的基础标准，对开展国际合作、对外贸易和交流有着重要且深远的影响。

上一版修改采用的国际标准年代太过久远，是1981年发布实施的，距今已过去40。

在这40年间，真空技术发展迅猛，在真空获得、真空测量、真空应用等方面发展出许多新兴技术，在航空航天、高能物理、新兴能源、化工制药、半导体等领域也诞生了许多新型应用。

因此原有的术语内容已无法满足现有技术应用的需求，如：新增加的“超清洁真空”、“复合涡轮分子泵”等术语，都是以往术语体系中不存在的内容，对真空区域也重新做了划分。

同时，原有的术语也被赋予了新的概念，或是定义发生了变化，这使得国内术语在应用中暂时无法实现统一，国内外在对术语的理解上也存在着差异，极大地影响了学术界的交流，技术领域的沟通学习，以及应用领域的兼容性。

其次，GB/T 3163-2007中存在一些定义不规范、表述错误、术语层次划分不清晰的错误，均需得到修改。

因此，目前急需对真空技术术语标准进行修订，纳入新兴技术中的术语内容，按照当前技术水平修改术语的定义内容，同时修订原标准中的错误。

后续将以术语标准为基础，重新审核现行真空技术标准中术语内容的准确性，也是将来制修订真空技术标准的基本准则。

同时亦能进一步推动我国真空技术标准对标达标工作，很大程度上降低了对标达标的难度。

本标准规定了真空技术方面的一般术语、真空泵及有关术语、真空计术语、真空系统及有关术语、检漏及有关术语、真空镀膜技术术语、真空干燥和冷冻干燥术语、表面分析技术术语和真空冶金术语。 标准中真空区域做了重新划分，修订了“真空”、“真空压力”、“容积真空泵”、”滑阀真空泵“、”低温泵“、”干式真空泵“、“体积流率”、“流量”、“临界前级压力”、“极限压力”、“基础压力”、“压缩比”、真空计的“测量范围”等术语和定义。纳入了当前已得到普及应用的诸如“超清洁真空”、“隔膜真空泵”、“螺杆真空泵”、“爪式真空泵”、“非蒸散吸气剂真空泵”、“复合涡轮分子真空泵”、“机械增压真空泵”、“电离计灵敏度”、“Bourdon 真空计”、“薄膜真空计”、“电容薄膜真空计”、“磁悬浮转子真空计”、“皮拉尼真空计”、“热电偶真空计”、“离子能量分析真空计”、“离子阱质谱仪”等最新的术语和定义。删除了诸如“标准环境条件”、“标准环境状态”、“气镇泵”、“体积碰撞率”、“气体量”、“吸气剂离子泵”、“电离计系数”、“冷阴极电离计”等内容。重新构建了真空镀膜术语的结构框架。